超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個(gè)生產(chǎn)周期內(nèi)，一個(gè)晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個(gè)環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會(huì)影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報(bào)廢。水處理之家網(wǎng)認(rèn)為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡(jiǎn)介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細(xì)講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計(jì)等。
對(duì)于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時(shí)會(huì)引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個(gè)投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對(duì)各種雜質(zhì)的去除效率。對(duì)超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)特點(diǎn)
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級(jí)制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機(jī)臺(tái)使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對(duì)性地設(shè)計(jì)一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運(yùn)行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計(jì)充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時(shí)的特點(diǎn)，各部分的設(shè)計(jì)兼顧經(jīng)濟(jì)性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級(jí)反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級(jí)反滲透—中間水箱—去有機(jī)物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機(jī)物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點(diǎn)
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團(tuán)，而NaCl0具有殺菌，分解有機(jī)物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對(duì)本工程大水量的特點(diǎn)而設(shè)計(jì)的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時(shí)使用熱交換器加熱反滲透進(jìn)水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
5.一級(jí)反滲透：反滲透對(duì)除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計(jì)用于一級(jí)反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲(chǔ)存一級(jí)反滲透產(chǎn)水，收集工藝機(jī)臺(tái)使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機(jī)物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計(jì)，同時(shí)可進(jìn)一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時(shí)用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級(jí)制水：
1.去離子水箱：儲(chǔ)存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級(jí)制水系統(tǒng)的運(yùn)行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達(dá)到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
4.二級(jí)反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級(jí)反滲透可去除高達(dá)95％ 以上的各種離子和有機(jī)物。
5.中間水箱：儲(chǔ)存二級(jí)反滲透產(chǎn)水，充普通氮?dú)?，隔絕空氣，以保護(hù)水質(zhì)不受污染。
6.去有機(jī)物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機(jī)物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達(dá)1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護(hù)膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮?dú)獯祾叩哪っ摎庋b置可保證產(chǎn)水中溶氧達(dá)到小于lppb的要求，與早期的真空氮?dú)獯祾叩奶盍纤啾龋哂忻摎饴矢?，占空間小，節(jié)省氮?dú)獾膬?yōu)點(diǎn)。

純凈水設(shè)備廠家提供的設(shè)備清洗方案
長時(shí)間停用時(shí)要將設(shè)備中蓄水排空，保證水不斷流動(dòng)才能生產(chǎn)出新鮮純凈水。因此，在反滲透純凈水設(shè)備長期停用時(shí)，要盡快將蓄水箱中存水排盡，防止蓄水變質(zhì)、滋生等情況出現(xiàn)。在設(shè)備恢復(fù)使用時(shí)，也要對(duì)其進(jìn)行反復(fù)清洗，保證設(shè)備干凈清潔。建議對(duì)設(shè)備進(jìn)行殺菌處理，向設(shè)備中注入殺菌液，浸泡一段時(shí)間后再反復(fù)沖洗，然后就可以恢復(fù)使用。在這一過程中，要避免殺菌液殘留在設(shè)備內(nèi)。
純凈水設(shè)備報(bào)價(jià)
純凈水設(shè)備
反滲透膜是整套設(shè)備中主要的水處理配件耗材，膜清洗是整個(gè)設(shè)備清洗過程的關(guān)鍵，只有保證反滲透膜安全衛(wèi)生，才能保證反滲透膜對(duì)原水產(chǎn)生過濾效果而不是污染水源。在使用過程中，僅僅對(duì)反滲透膜進(jìn)行沖洗遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠，因?yàn)楹?jiǎn)單清洗只能將膜表面截留的大顆粒物質(zhì)去除，而不能將那些有害物質(zhì)清洗掉，因此需要?dú)⒕?、化學(xué)清洗劑等藥劑來對(duì)反滲透膜進(jìn)行清洗。由于化學(xué)藥劑會(huì)對(duì)設(shè)備造成一定傷害，不建議經(jīng)常使用。
純凈水設(shè)備報(bào)價(jià)
純凈水設(shè)備
反滲透系統(tǒng)是的核心，因此應(yīng)采用正確的清洗規(guī)程對(duì)設(shè)備進(jìn)行清洗，以保證設(shè)備性能的穩(wěn)定性。

電泳涂裝線、琉璃清洗線有很多水洗工藝。工件清洗的效果直接影響到產(chǎn)品生產(chǎn)后續(xù)的穩(wěn)定性。水洗一般有自來水噴淋清洗、自來水浸漬清洗、純水浸漬清洗、純水噴淋洗、干凈純水噴淋清洗等各道工序。 電泳涂裝線、琉璃清洗線水洗電導(dǎo)率一般要求在15μS/cm2。
電泳后的水洗：超濾水洗后，工件還需要純水清洗，一般有純水浸洗，再加上一道干凈純水噴淋清洗工序，也是采用逆向流動(dòng)重復(fù)利用水，即干凈純水清洗工件后，返回到純水洗槽，然后通過純水槽溢流排出。電泳后的純水洗電導(dǎo)率一般要求15μS/cm2。電泳涂裝行業(yè)大型系統(tǒng)一般采用反滲透系統(tǒng)，小型系統(tǒng)可采用離子交換系統(tǒng)，一般用于飾品如表帶、鏡架、手機(jī)殼上的面彩色電泳對(duì)純水純度更高，需要在后面增加混床或EDI裝置以使產(chǎn)水電導(dǎo)率達(dá)到1uS/cm2。
離子交換與反滲透技術(shù)的比較：
離子交換與反滲透相比具有投資成本低的優(yōu)勢(shì)
離子交換設(shè)備占地一般反滲透設(shè)備要小
在原水水質(zhì)低于200uS/CM時(shí)其運(yùn)行成本也低于反滲透系統(tǒng)
原水電導(dǎo)率高于500uS/CM時(shí)其運(yùn)行成本會(huì)比較高
離子交換器交換飽合后需要用酸、堿進(jìn)行再生
反滲透不需酸堿再生，無環(huán)保問題
反滲透產(chǎn)水穩(wěn)定性比較好
反滲透操作簡(jiǎn)單
反滲透在適合高鹽份(電導(dǎo)率)的水源
用于涂裝行業(yè)的離子交換設(shè)備：
離子交換是通過置換反應(yīng)交換水中的陰(CaCO32-SO42-，HCO3-等)陽(Ca2+， Mg2+，F(xiàn)e2+等)離子，同時(shí)釋放H+和OH-產(chǎn)生純水。這種工藝可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作，需要酸堿再生， 在原水低鹽份(表現(xiàn)出現(xiàn)電導(dǎo)低于200左右)運(yùn)行成本和投資成本雙低，但原水電導(dǎo)率達(dá)到500uS/CM2，運(yùn)行成本就比較高了。

貴州純凈水設(shè)備，如何排除純凈水設(shè)備的日常故障
純凈水設(shè)備有時(shí)會(huì)出現(xiàn)無法產(chǎn)水的故障，這種時(shí)候要分兩種情況進(jìn)行分析，一種是高壓泵能夠正常工作，另一種是高壓泵不能正常工作，其排除方法是有所不同的。下面就簡(jiǎn)要談?wù)劶儍羲O(shè)備日常故障排除方案。
1. 純凈水設(shè)備高泵運(yùn)作正常時(shí)產(chǎn)水故障排除
此時(shí)應(yīng)仔細(xì)查看設(shè)備的高壓泵是否出現(xiàn)了失壓故障，水處理配件耗材是否出現(xiàn)問題。如果廢水和純水都不排出或是只有很少的廢水排出，那么有可能是前置濾芯出現(xiàn)了堵塞。
如果只有廢水排出卻沒有純水排出，那么則是逆止閥被堵塞了。有可能是電磁閥失靈而無法有效啟動(dòng)導(dǎo)致的。查看反滲透膜是否被堵塞。
2. 純凈水設(shè)備高壓泵不啟動(dòng)時(shí)產(chǎn)水故障排除
查看電源連接是否牢固、正常，或是停電所致。查看是否因低壓開關(guān)故障而無法接通電源導(dǎo)致的。
這種故障有時(shí)是因?yàn)樗豢刂破魇ъ`或高壓開關(guān)故障而致使不能復(fù)位所導(dǎo)致的。查看變壓器及保險(xiǎn)絲是否被燒。
當(dāng)純凈水設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，一定要按照一定的步驟進(jìn)行分析，然后再采取正確的處理方式，從而避免不當(dāng)?shù)牟僮鲗?dǎo)致其它故障出現(xiàn)，影響設(shè)備的正常運(yùn)行以及使用壽命。同時(shí)需要特別提示的是，應(yīng)該對(duì)礦泉水生產(chǎn)設(shè)備做定期的清洗和維護(hù)保養(yǎng)，從而降低設(shè)備出現(xiàn)故障的頻率，維持設(shè)備長期處于正常的運(yùn)行狀態(tài)。
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