超純水設(shè)備系統(tǒng)在半導(dǎo)體晶片制造過程中重起到至關(guān)重要的作用。在一個生產(chǎn)周期內(nèi)，一個晶片與超純水的接觸超過35次，在任何一個環(huán)節(jié)發(fā)生供水中斷或者水質(zhì)不合格都會影響晶片的質(zhì)量，甚至導(dǎo)致產(chǎn)品的報廢。水處理之家網(wǎng)認(rèn)為，穩(wěn)定可靠的超純水設(shè)備系統(tǒng)是保障半導(dǎo)體晶片可持續(xù)生產(chǎn)的關(guān)鍵。
一、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)簡介
本方案以半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)用超純水設(shè)備系統(tǒng)為案例，詳細(xì)講解205T/H的超大型超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點、工藝流程、超純水供水網(wǎng)管設(shè)計等。
對于原水中的各種雜質(zhì)，可以選用的去除方式多種多樣，每一種凈化設(shè)備基于不同的凈化原理，對各種雜質(zhì)的去除效率各不相同，甚至某些設(shè)備在去除特定雜質(zhì)的同時會引起其他雜質(zhì)數(shù)值的上升。超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計的過程就是在滿足水質(zhì)要求的前提下尋找一個投資與操作優(yōu)化的凈化設(shè)備組合方案的過程。不同凈化設(shè)備對各種雜質(zhì)的去除效率。對超純水水質(zhì)的指標(biāo)要求：
二、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計特點
典型的超純水設(shè)備系統(tǒng)流程可分為部分：預(yù)處理、初級制水、精制水。在全球水資源日益匱乏的今日，超純水的回收再利用已經(jīng)成為超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計必不可缺的一部分。一般而言，經(jīng)工藝機臺使用的超純水除了PH值，電導(dǎo)率，TOC等指標(biāo)較差外，大部分指標(biāo)都優(yōu)于市政供水，只要有針對性地設(shè)計一些凈化設(shè)備，完全可以將超過70％的超純水供水回收再利用，達(dá)到節(jié)水環(huán)保的目的。當(dāng)然，回收率越高，其設(shè)備投資及操作運行成本也越高。本系統(tǒng)的流程設(shè)計充分考慮到工程水質(zhì)要求高，水量超過250噸小時的特點，各部分的設(shè)計兼顧經(jīng)濟性和可操作性，巧妙地將超純水回收利用系統(tǒng)融合于制備系統(tǒng)。
三、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)工藝流程
自來水—加藥—多介質(zhì)過濾器—常壓脫氣塔—換熱器—10μm過濾器—一級反滲透 —預(yù)處理水箱—活性炭過濾器—離子交換器—去離子水箱—紫外線殺菌燈—1μm過濾器—二級反滲透—中間水箱—去有機物紫外線—混床—0.45μm過濾器—膜脫氣裝置—純水設(shè)備—冷卻箱—去有機物紫外線—拋光床—超濾系統(tǒng)—輸送管網(wǎng)—用水點
四、半導(dǎo)體晶片超純水設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計方案
預(yù)處理：
1.PAC、NaCl0加藥：絮凝劑PAC有助于原水中的膠體粒子和懸浮固體凝集成易被多介質(zhì)過濾器的大基團，而NaCl0具有殺菌，分解有機物的作用。
2.多介質(zhì)過濾器：去除原水中經(jīng)絮凝的膠體粒子和懸浮固體，可通過反沖洗再生。H，S0 加藥，常壓脫氣塔：加H，S0 可將原水中的HC0 一生成C02在常壓脫氣塔中脫除，常壓脫氣塔是針對本工程大水量的特點而設(shè)計的，可以提高真空膜脫氣的除氧效率，減少昂貴的脫氣膜組的使用量。
3.熱交換器：在冬季原水水溫較低時使用熱交換器加熱反滲透進(jìn)水以提高反滲透系統(tǒng)的除鹽率，保證出水水質(zhì)。
4.10 u m預(yù)過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
5.一級反滲透：反滲透對除了溶解氣體以外的大部分雜質(zhì)都有較好的脫除效果。不同材質(zhì)的反滲透膜操作條件不同，脫除雜質(zhì)的效率也不同。醋酸纖維(CA)膜。醋酸纖維(CA)膜脫除率比復(fù)合(TFC)膜低，本設(shè)計用于一級反滲透，作為預(yù)處理階段去除大量離子等雜質(zhì)之用。反滲透膜需定期加藥清洗以去除表面污染及結(jié)垢，保證反滲透效率并延長膜的壽命。
6.預(yù)處理水箱：儲存一級反滲透產(chǎn)水，收集工藝機臺使用過的回收純水。
7.活性炭過濾器：表面具有無數(shù)10—10 A微孔的活性炭吸附預(yù)處理水尤其是回收純水中的有機物，并通過反沖洗再生。
8.離子交換塔：離子交換塔包括陽離子樹脂床和陰離子樹脂床，主要為去除回收純水中的各種陰陽離子，降低電導(dǎo)率而設(shè)計，同時可進(jìn)一步純化預(yù)處理水，保證水質(zhì)離子交換樹脂定時用酸堿再生后可反復(fù)使用。
初級制水：
1.去離子水箱：儲存去離子水，調(diào)節(jié)和平衡預(yù)處理系統(tǒng)和初級制水系統(tǒng)的運行。
2.紫外線殺菌：波長254nm的紫外線燈可達(dá)到殺菌的作用。
3.1um過濾器：過濾顆粒雜質(zhì)，保護(hù)反滲透膜。
4.二級反滲透： 采用復(fù)合(TFC)膜的二級反滲透可去除高達(dá)95％ 以上的各種離子和有機物。
5.中間水箱：儲存二級反滲透產(chǎn)水，充普通氮氣，隔絕空氣，以保護(hù)水質(zhì)不受污染。
6.去有機物紫外線： 波長1 85mm 的紫外線燈可分解有機物至二氧化碳和水。
7.混床：不同于離子交換塔中陰陽離子樹脂，混床中使用的樹脂可以在較低的離子濃度下獲得很好的脫除效率，混床出水電阻率已達(dá)1 7M Q．cm以上，接近超純水電阻率要求。
8.0.45um過濾器：去除去離子水中的顆粒雜質(zhì)，并捕捉水中可能帶出的破碎的混床樹脂微粒，以保護(hù)膜脫氣裝置的脫氣膜不受損害。
9.膜脫氣裝置：加真空氮氣吹掃的膜脫氣裝置可保證產(chǎn)水中溶氧達(dá)到小于lppb的要求，與早期的真空氮氣吹掃的填料塔相比，具有脫氣率高，占空間小，節(jié)省氮氣的優(yōu)點。

純凈水生產(chǎn)設(shè)備雖然并不復(fù)雜，但是其中還是有很多需要注意的地方，下面就由我來跟大家說一下設(shè)備的特點吧，希望會對大家有所幫助。
1、純凈水生產(chǎn)設(shè)備的優(yōu)點十分明顯，工藝流程也十分科學(xué)，具體可以表現(xiàn)為—運行周期和進(jìn)鹽量可根據(jù)原水硬度的高低選擇調(diào)整，樹脂用量少，耗鹽低，水，操作簡單，維護(hù)方便。
2、純凈水生產(chǎn)設(shè)備制水工藝，產(chǎn)水能力穩(wěn)定產(chǎn)水量大，采用浮動床逆流再生工藝，水質(zhì)、產(chǎn)水量穩(wěn)定，連續(xù)產(chǎn)水，用軟化水化鹽、再生、清洗。
3、純凈水生產(chǎn)設(shè)備節(jié)能程度十分高超，它的節(jié)鹽、節(jié)水。再生鹽的比耗為75-90克/克當(dāng)量，遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于同類進(jìn)口設(shè)備；自耗水少、只占設(shè)備產(chǎn)水量的2%-4%。
4、純凈水生產(chǎn)設(shè)備使用壽命長，采用防腐蝕材料制造，由于閥結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，比原自動切換器使用壽命延長一倍。
5、純凈水生產(chǎn)設(shè)備安裝方便，節(jié)省了人力物力，只需接進(jìn)出水管和電源即可開機運行。設(shè)備自動化程度提高，實現(xiàn)了無人操作。

反滲透技術(shù)是膜分離技術(shù)，與前置預(yù)處理系統(tǒng)配套使用；利用高壓泵的加壓，反滲透膜的截留，可有效去除水中固體溶解物、有機物、膠體、微生物以及等雜質(zhì)。具有應(yīng)用范圍廣、主動化程度高、占地少、能耗低、出水水質(zhì)好。
反滲透主機組成
反滲透主機主要由增壓泵，膜殼，反滲透膜，控制電路等組成，是整個水處理系統(tǒng)中的核心部分，產(chǎn)水水質(zhì)的好主要也取決該部分。只要膜的型號及增壓泵的型號選取得當(dāng)，反滲透主機對水中鹽分的過濾能力都能達(dá)到99%以上，出水電導(dǎo)率可保證在10us/cm（25度）以內(nèi)。
反滲透原理
把相同體積的稀溶液（如淡水）和濃液（如海水或鹽水）分別置于一容器的兩側(cè)，中間用半透膜阻隔，稀溶液中的溶劑將自然的穿過半透膜，向濃溶液側(cè)流動，濃溶液側(cè)的液面會比稀溶液的液面高出一定高度，形成一個壓力差，達(dá)到滲透平衡狀態(tài)，此種壓力差即為滲透壓滲透壓的大小決定于濃液的種類，濃度和溫度與半透膜的性質(zhì)無關(guān)。若在濃溶液側(cè)施加一個大于滲透壓的壓力時，濃溶液中的溶劑會向稀溶液流動，此種溶劑的流動方向與原來滲透的方向相反，這一過程稱為反滲透。
預(yù)處理
預(yù)處理常常由石英沙過濾裝置，活性碳過濾裝置，精密過濾裝置組成，主要目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物，色素、異味、生化有機物，降低水的余氨值及污染等有害的物質(zhì)。如果原水中鈣鎂離子含量較高時，還需增加軟水裝置，主要目的在于保護(hù)后級的反滲透膜不受大顆粒物質(zhì)的破，從而延長反透膜的使用壽命。
反滲透設(shè)備是圍繞反滲膜而組織成的一套水處理系統(tǒng)，一套完整的反滲透系統(tǒng)分別由預(yù)處理部分、反滲透主機（膜過濾部分）、后處理部分和系統(tǒng)清洗部分共同組成。

貴州反滲透設(shè)備，反滲透純水設(shè)備濾芯濾料的維護(hù)方法
為了使反滲透純水設(shè)備長期穩(wěn)定地達(dá)到凈水效果，滿足客戶的需求。定期保養(yǎng)是必要的。以下是反滲透純水設(shè)備濾芯濾料的維護(hù)方法。
反滲透純水設(shè)備的維修主要包括更換濾料、化學(xué)清洗或反滲透膜的更換、設(shè)備的檢查和維修等。常用濾芯:精密濾芯、反滲透膜;過濾材料:石英砂、活性炭、錳砂。
更換濾芯材料:濾芯通常每季度更換一次，也可以根據(jù)自己設(shè)備的實際需要更換。濾料是自動清洗的。在檢查反滲透純水設(shè)備的完整性后，新的濾芯被填滿。同時對易損的零件，如五金件、密封圈等進(jìn)行修復(fù)或更換。
反滲透膜的化學(xué)清洗：對反滲透膜進(jìn)行的化學(xué)清洗流程包括酸洗和堿洗，是為了清除膜元件表面的污染物，污染物一般包括無機鹽、金屬氧化物、無機膠體(泥砂微粒)、生物膜、有機物、硅等。清洗完畢可進(jìn)行膜元件的停機保養(yǎng)或開機運行。
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